金刚石化学窗口

 

金刚石化学窗口是利用化学气相沉积(CVD)技术制备的高性能光学窗口材料,凭借金刚石从深紫外到远红外的宽光谱透过特性、超高热导率、极高硬度和优异化学稳定性,成为极端环境下化学分析、高功率激光、太赫兹应用等领域的理想窗口材料。

金刚石化学窗口采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)或热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,在特定衬底上生长高纯度多晶或单晶金刚石薄膜,经精密加工制成光学窗口元件。

金刚石具有从225nm深紫外到远红外(25μm)的宽光谱透过范围,透过率可达70%以上,且无明显吸收峰,是传统光学材料无法比拟的优异特性。

目前行业已实现直径1-4英寸多晶金刚石窗口和1-2英寸单晶金刚石窗口的批量生产,表面粗糙度可控制在Ra<1-10nm,平整度优于λ/4,满足高精度光学系统的严苛要求。

金刚石化学窗口凭借其卓越的光学性能、热学性能和化学稳定性,正在从实验室走向产业化应用。

随着制备技术的不断突破、晶圆尺寸的持续扩大以及成本的逐步降低,金刚石化学窗口将在高功率激光、红外制导、太赫兹光学、电化学分析、航空航天等高端领域发挥越来越重要的作用,成为推动光学技术发展的关键材料之一。